Плазменная электроника

Строкин Н.А. Плазменная электроника : учеб. пособие. – Иркутск : Изд-во ИРНИТУ, 2021.  150 с.


Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам
и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики плазмы, плазменные источники ионов, газоразрядные источники ионов
и плазменные лазеры.
Предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Вакуумная
и плазменная электроника».
(Зак. 146 д.п.