Электроны и ионы в электронике

Строкин Н.А. Электроны и ионы в электронике : учеб. пособие. – Иркутск : Изд-во ИРНИТУ, 2021.  184 с.

Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Является базовым пособием для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены вопросы генерации электронных пучков, методы и устройства создания глубокого вакуума и измерения степени разряжения, принципы действия электровакуумных и газоразрядных электронных ламп, микроэлектроники, методы и устройства ускорения ионов.  
Предназначено для студентов электротехнических специальностей, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника».
(Зак. 143 д.п.)